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308纳米（nm）准分子激光是由氯化氙（XeCI）为激光工作物质而产生的波长为308nm的激光。氯是卤族元素氙为惰性气体，在正常情况下氯和氙是不会发生反应的，在自然界中也不存在氯和氙的化合物，但在高压和强电场作用下氯可以接收氙的一个电子，行程氯化氙分子，氯化氙不稳定维持的时间很短，很快会分离成为氯和氙，这种不稳定的分子成为准分子，由不稳定的氯化氙准分子受激发而产生的激光即为波长308nm的紫外线激光。